面板企業潔凈室氣體泄漏影響后果研究

作者：李峰

摘要：文章對使用特種氣體的半導體行業—面板企業潔凈室為研究對象,以案例企業CVD工藝制成中能產生較大后果危害的NF3、NH3、SiH4供氣管道作泄漏效果模擬,利用ALOHA軟件可模擬特氣泄漏后影響范圍的特性,進行NF3、NH3、SiH4泄漏后毒性影響范圍和SiH4火災危險性的數值模擬。結果為企業設備維保、現場維護等人工崗設定提供了泄漏后果影響范圍和防護安全距離的指導意見。

發文機構：上海天馬有機發光顯示技術有限公司

關鍵詞：面板企業氣體泄漏ALOHA危害影響范圍

分類號： TU8[建筑科學]