摘要:普發真空推出全新HiPace 350和HiPace 450渦輪分子泵,該產品特別適用于質譜分析、電子顯微術、測量技術、粒子加速和等離子體物理方面的應用。新產品的應用領域十分廣泛,除了用于分析、真空工藝和半導體技術外,還可用于真空鍍膜、研發以及工業領域。HiPace 350和HiPace 450性能強大、重量輕且占地面積小。憑借由前級真空側陶瓷球軸承和高真空側永磁徑向軸承所組成的混合軸承,HiPace系列渦輪分子泵的軸承非常堅固,確保了最佳的可靠性。
關鍵詞:渦輪分子泵半導體技術電子顯微術等離子體物理粒子加速占地面積真空鍍膜徑向軸承
分類號: F42[經濟管理—產業經濟]