材料幫助圖形成像以解決PPAC中的矛盾

作者：Regina Freed

摘要：在半導體產業的黃金時代,當戈登·摩爾還在為自己的公司制定路線圖時,平面尺寸的縮小就帶來了功耗、性能和面積/成本的同步進步(PPAC)。但隨著時間的推移,登納德平面尺寸縮小定律對功耗的幫助受阻,而材料工程開始應用于半導體制造,以促進功耗、性能和面積/成本的持續提高。其中,高K值金屬柵極就是一個最有力的例證。

發文機構：應用材料公司

關鍵詞：半導體制造金屬柵極半導體產業尺寸縮小路線圖黃金時代

分類號： TN43[電子電信—微電子學與固體電子學]TP391.41[自動化與計算機技術—計算機應用技術]